氮化铝造粒粉由微米粉喷雾造粒而成，含有粘结剂及烧结助剂，可直接压制成形。钜瓷科技的氮化铝造粒粉具有良好的流动性、高烧结活性，以及高纯度、高强度的特点，可用于制作氮化铝加热器/静电吸盘/刻蚀防护罩/热压氮化铝陶瓷等各种半导体设备部件。
产品特性
高纯度
High Purity
即时压制
Ready for press
高强度
High strength
高烧结活性
High sintering activity
良好流动性
High fluidity
技术参数
项目Item | GS-80 | |
平均粒径 Mean particle size (μm) | 70~120 | |
Y2O3 (WT%) | 5 | |
松装密度 Bulk density (g/cm3) | 0.8~1.0 | |
流动性 Fluidity (s/50g) | 80~100 | |
杂质含量 | Ca (ppm) | ＜500 |
Si (ppm) | <100 | |
Fe (ppm) | <30 | |
成形工艺
脱脂工艺
200℃前3℃/ min ，400℃前2℃/ min，500℃前5℃/ min ，保温2小时。
烧结温度1830~1900℃，保温时间3~5 hrs,流动氮气，0.1MPa
产品应用
压制陶瓷原料：加热器/静电吸盘/刻蚀防护罩/热压氮化铝陶瓷
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